第424章 真的是0.1纳米的光刻机
古工赶紧凑过去看。
检测图像上密密麻麻的电路结构，线宽比昨天细了整整两个数量级，每一条线的边缘都像刀切一样整齐，没有任何粗糙感。
他调出显微镜的测量工具，在图像上拉了一条线。
屏幕上的数字跳动了几下，停在一个数值上。
他删除测量线，重新拉了一条，在另一个区域再测。
数字几乎一模一样。
六组不同区域的线宽测量，最大值和最小值的偏差小到几乎可以忽略不计，而平均线宽精确地落在了一个数字上——0.1纳米。
哐啷。
茶杯被古工的胳膊碰倒了，茶水洒在桌上，但他浑然不觉。
“零点一纳米！”
“零点一纳米！不是二十五纳米！全口径扫描六个区域，线宽偏差不到百分之一。”
古工的声音有些发颤，这个当了三十多年光学专家的老工程师，此刻说话的声音连他自己都觉得陌生。
苏工一把推开椅子站起来，几乎是跑到光刻机控制面板前面，重新调出系统自检报告。
他逐行核对每一个参数，从光学系统到运动平台到曝光光源到控制系统，每一个数字都用笔抄在纸上，然后重新算了一遍比例关系。
算完之后他把笔往桌上一扔，转身看着古工。
“所有的参数都对得上。光学系统精度、运动平台定位精度、曝光光源波长——这些参数同步提升之后，理论上能达到的线宽精度，就是零点一纳米。”
他指了指屏幕上那个自检报告：
“这台机器昨天晚上被人升级了。不知道是谁，不知道用什么方式。但升级之后的性能参数，每一项都超过了目前国际上最先进的光刻机。”
古工愣在原地，手扶着检测台像是在确认自己没有站不稳：
“零点一纳米！你知道全球最先进的光刻机公开报道的极限线宽是多少吗？这个数字要公布出去，全世界的芯片行业都要地震。”
为了确认是否真的是0.1，苏工重新走到检测屏幕前面，把同一组数据调出来反复对比。
每一遍对比都得出相同的结论。
他靠在椅背上，声音有些发干：
“这已经不是一代代差了。在这个精度面前，目前国际上最先进的光刻机至少还要追赶两到三代。芯片的计算能力能提升多少，功耗能降低多少，我现在没法估算，但每一个做芯片的人看到这个数据都会疯掉。”
他深吸一口气，把老花镜往鼻梁上推了推，转身大步往外走。
“你去哪？”苏工在后面问。
“汇报！这个事必须立刻汇报！”古工的声音带着不容置疑的急切。
“零点一纳米的自主光刻机，这是国字号级别的突破！你继续做复测，把每一片晶圆的检测数据都记录下来，我马上去找陈副院长。”
洁净车间的门在他面前被推开了。
许锋站在门口，一只手撑着门框，另一只手里端着一杯豆浆。
他看了一眼满脸通红的古工，又看了一眼后面正从椅子上站起来的苏工，然后走进了车间。
“古工，不用去了。”
古工急了：
“许大队长，这个光刻机的精度已经达到了零点一纳米！你知道这意味着什么吗？这意味着我们在芯片制造上不仅追上了国际最先进水平，而且反超了整整一代！这个成果必须立刻上报。”
许锋把豆浆放在桌上，语气很平：
“我知道，昨晚我升级的。”
古工后半截话卡在喉咙里，他张了张嘴，又闭上，车间里安静了几秒。
“什么⁉你……升级的？”
苏工从检测屏幕前面站起来，脸上的表情像是听到了什么不可思议的话。
“你一个人？昨天晚上？”
“对。一台基础版样品，一套改造升级方案，一晚上。升级内容包括光学系统精度跃升、精密运动平台精度提升、曝光光源波段切换、控制系统集成人工智能自适应校正算法。”
许锋挨个报了一遍升级项目，每报一个，古工的眼角就跳一下。
“精度零点一纳米，这个数字我昨晚关机之前就看到了。”
“一个人……把一台二十五纳米的光刻机升级到了零点一纳米？”
古工摘掉老花镜，用衣角擦着镜片，说话的声音都在打颤。
“这怎么可能？你知道光是换一个曝光光源就需要至少两周的调试周期——光路对准、波长标定、曝光均匀性校准，哪个不是需要反复调试的活？”
苏工在旁边补了一句：
“精密运动平台的定位精度提升一个数量级，常规做法需要重新做整个平台的动态标定。许大队长，昨晚你一个人，到底是怎么做到的？”
许锋没有直接回答这个问题，只是看着古工：“古工，你在这个领域干了多少年了？”
“三十多年。”古工说。
“三十多年，你见过精度零点一纳米的光刻机吗？”
“没有。”
“国际上有公开报道吗？”
“没有。”
许锋端起桌上的豆浆喝了一口，然后放下杯子：
“既然没有，那这台机器现在是我们手里独一份的东西，汇报上去很简单，但汇报之后呢？”
古工愣住了。
他刚才被那个零点一纳米的数字震住了，满脑子想的是“这个成果必须立刻上报”，但许锋这一问让他冷静了几分。
许锋说得没错，零点一纳米的光刻机一旦公开，带来的震动不仅是技术层面的。
全球芯片产业链的格局、半导体设备的出口管制政策、各方势力对这台设备的觊觎。
这些东西会像闻到血腥味的鲨鱼一样蜂拥而至。
龙牙基地位置虽然隐蔽，但一旦消息传出去，没有谁能保证绝对的安全。
苏工也沉默了下来。
他的手指无意识地敲着检测台的边缘，脑子里想的是同一件事。
“那你的意思是……”古工迟疑着开口。
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